判断一台 Wafer AOI 是否值得导入,先看它能否在目标工艺层、目标缺陷类型和产线节拍下,稳定输出可复核、可追溯的缺陷数据;分辨率、相机像素或 AI 标签只是实现手段,不是验收结论。若捕获率、误报率、重复性、Review 闭环和 Recipe 维护成本说不清,设备很难在量产中产生价值。 适用场景与上线判断 Wafer AOI 常用于晶圆制造、先进封装、化合物半导体、MEMS 等环节,用来发现颗